Das Institut für Nanophotonik Göttingen e.V. (IFNANO) startet das Projekt LabaKom – Laserbasierte Spannungskompensation bei Glassubstraten in der Dünnschichttechnologie. Das Kickoff-Treffen mit Unternehmensvertretern des projektbegleitenden Ausschusses fand am 19.11.2024 im IFNANO statt.
Das Projekt adressiert ein sich zunehmend verschärfendes Problem in der Optikfertigung und Dünnschichttechnologie: Nach der Beschichtung stehen Schichten häufig unter mechanischer Spannung, was zu Verformungen des Substrats führen kann. Herkömmliche Methoden bieten oft keine ausreichende Korrekturmöglichkeit. Ziel des Projekts ist die Entwicklung eines kosteneffizienten Verfahrens zur langzeitstabilen Kompensation von Zug- und Druckspannungen in Glassubstraten, das eine großflächige, schnelle Korrektur auch komplexer Verformungen ermöglicht. Dazu werden durch gezielte Laserbestrahlung Spannungen in die Rückseite des Substrats eingebracht und die resultierende Formkorrektur experimentell und numerisch optimiert.
Das Forschungsvorhaben wird im Rahmen der Industriellen Gemeinschaftsforschung (IGF) durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK) gefördert und durch die Forschungsvereinigung Feinmechanik, Optik und Medizintechnik e. V. (F.O.M.) unterstützt.
